Дипломная работа: Комплект технологической документации по оптической контактной литографии
| 5 | 1 | ||||||||||||||||||||
| МГОУ | 605124 | 605124 ОКУ | |||||||||||||||||||
| В | Цех | УЧ. | РМ | Опер. | Код, наименование операции | ||||||||||||||||
| Г | Обозначение документа | ||||||||||||||||||||
| Д | Код, наименование оборудования | ||||||||||||||||||||
| Т | Код, наименование технологической оснастки | ||||||||||||||||||||
| Л/М | Наименование детали, сб. единицы или материала | ||||||||||||||||||||
| О | Содержание операции(перехода) | ТО | |||||||||||||||||||
| В 1 | Совмещение и экспонирование | ||||||||||||||||||||
| 2 | |||||||||||||||||||||
| Г 3 | 605124 ОКУ | ||||||||||||||||||||
| 4 | |||||||||||||||||||||
| Д 5 | EVG620 Установку совмещения и экспонирования OSTEC | ||||||||||||||||||||
| 6 | |||||||||||||||||||||
| Т 7 |
ТУ 64-1-37-78 Пинцет
ПС 160 |
||||||||||||||||||||
| 8 | |||||||||||||||||||||
| Т 9 | ВТМ 4.189. 017 Тара для хранения пластин | ||||||||||||||||||||
| 10 | |||||||||||||||||||||
| М 11 | ТУ 25-05-1771-75 Вакуум | ||||||||||||||||||||
| 12 | |||||||||||||||||||||
| М 13 | ГОСТ 2874 – 82 Вода питьевая | ||||||||||||||||||||
| 14 | |||||||||||||||||||||
| М 15 | ГОСТ 18300 – 87 Спирт этиловый ректификованный технический | ||||||||||||||||||||
| 16 | |||||||||||||||||||||
| М 17 | ГОСТ 11680 – 76 Ткань хлопчатобумажная бязевой группы | ||||||||||||||||||||
| 18 | |||||||||||||||||||||
| Л 19 | 605124 Пластины с операции | ||||||||||||||||||||
| 20 | |||||||||||||||||||||
| 21 | |||||||||||||||||||||
| 22 | |||||||||||||||||||||
| 23 | |||||||||||||||||||||
| 24 | |||||||||||||||||||||
| 25 | |||||||||||||||||||||
| 26 | |||||||||||||||||||||
| 27 | |||||||||||||||||||||
| 28 | |||||||||||||||||||||
| Разраб. | |||||||||||||||||||||
| Н. контр. | |||||||||||||||||||||
| ОКУ |
Операционная карта универсальная |
||||||||||||||||||||
3.0Страницы: 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8
