Дипломная работа: Комплект технологической документации по оптической контактной литографии
| Разраб. | |||||||||||||||||||||||||||||||
| Н. контр. | |||||||||||||||||||||||||||||||
| МК |
Маршрутная карта |
||||||||||||||||||||||||||||||
| 2 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| МГОУ | 605124 | 605124 МК | |||||||||||||||||||||||||||||
| В | Цех | УЧ. | РМ | Опер. | Код, наименование операции | ||||||||||||||||||||||||||
| Г | Обозначение документа | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Д | Код, наименование оборудования | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Е | см | проф | Р | УТ | КР | КОИД | ЕН | ОП | К шт | Тпз | Т шт | ||||||||||||||||||||
| Л/М | Наименование детали, сб. единицы или материала | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Н/М | Обозначение, код | ОПП | ЕВ | ЕН | КИ | Н. расх. | |||||||||||||||||||||||||
| М 1 | ТУ 2378-005-29135749 Фоторезист ФП 383 | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Н 2 | Склад Л 1 5·10-3 | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Д 3 | EVG 101 Установка нанесения, проявления и снятия фоторезиста OSTEC | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 4 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| В 5 | 020 1я сушка | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 6 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| Г 7 | 605124 ОКУ | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 8 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| Т 9 | БАВнп-01 1, 2(01) БОКС укрытие "Ламинар-С" | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Т 10 |
ТУ
64 – 1 – 37 – 78 Пинцет ПС 160 |
||||||||||||||||||||||||||||||
| Т 11 | ВТМ 4. 189. 017 Тара для хранения пластин | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Д 12 | HP 150 Установка сушильная Sawatec | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 13 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| В 14 | 025 Совмещение и экспонирование | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 15 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| Г 16 | 605124 ОКУ | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 17 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| Т 18 | БАВнп-01 1, 2(01) БОКС укрытие "Ламинар-С" | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Т 19 |
ТУ
64 – 1 – 37 – 78 Пинцет ПС 160 |
||||||||||||||||||||||||||||||
| Т 20 | ВТМ 4. 189. 017 Тара для хранения пластин | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Д 21 | EVG 620 Установка совмещения и экспонирования OSTEC | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 22 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| В 23 | 030 Проявление фоторезиста | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 24 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| Г 25 | 605124 ОКУ | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 26 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| Т 27 | БАВнп-01 1, 2(01) БОКС укрытие "Ламинар-С" | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Т 28 |
ТУ
64 – 1 – 37 – 78 Пинцет ПС 160 |
||||||||||||||||||||||||||||||
| Т 30 | ВТМ 4. 189. 017 Тара для хранения пластин | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Разраб. | |||||||||||||||||||||||||||||||
| Н. контр. | |||||||||||||||||||||||||||||||
| МК | Маршрутная карта | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 3 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| МГОУ | 605124 | 605124 МК | |||||||||||||||||||||||||||||
| В | Цех | УЧ. | РМ | Опер. | Код, наименование операции | ||||||||||||||||||||||||||
| Г | Обозначение документа | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Д | Код, наименование оборудования | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Е | см | проф | Р | УТ | КР | КОИД | ЕН | ОП | К шт | Тпз | Т шт | ||||||||||||||||||||
| Л/М | Наименование детали, сб. единицы или материала | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Н/М | Обозначение, код | ОПП | ЕВ | ЕН | КИ | Н. расх. | |||||||||||||||||||||||||
| М 1 | ТУ 2378-007-29135749 Проявитель УПФ-1Б | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Н 2 | Склад Л 1 0.4 | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Д 3 | EVG 101 Установка нанесения, проявления и снятия фоторезиста OSTEC | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 4 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| В 5 | 035 2я сушка | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 6 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| Г 7 | 605124 ОКУ | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 8 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| Т 9 | БАВнп-01 1, 2(01) БОКС укрытие "Ламинар-С" | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Т 10 |
ТУ
64 – 1 – 37 – 78 Пинцет ПС 160 |
||||||||||||||||||||||||||||||
| Т 11 | ВТМ 4. 189. 017 Тара для хранения пластин | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Д 12 | HP 150 Установка сушильная Sawatec | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 13 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| В 14 | 040 Контроль рельефа рисунка фоторезиста | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 15 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| Г 16 | 605124 ОК | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 17 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| Т 18 | БАВнп-01 1, 2(01) БОКС укрытие "Ламинар-С" | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Т 19 |
ТУ
64 – 1 – 37 – 78 Пинцет ПС 160 |
||||||||||||||||||||||||||||||
| Т 20 | ВТМ 4. 189. 017 Тара для хранения пластин | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Д 21 | ТУ 3-3.1210-75М Микроскоп инспекционный Nikon Eclipse L200A | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 22 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| В 23 | 045 Травление подложки | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 24 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| Г 25 | 605124 ОКУ | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 26 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| Т 27 | БАВнп-01 1, 2(01) БОКС укрытие "Ламинар-С" | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Т 28 |
ТУ
64 – 1 – 37 – 78 Пинцет ПС 160 |
||||||||||||||||||||||||||||||
| Т 30 | ВТМ 4. 189. 017 Тара для хранения пластин | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Разраб. | |||||||||||||||||||||||||||||||
| Н. контр. | |||||||||||||||||||||||||||||||
| МК | Маршрутная карта | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 4 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| МГОУ | 605124 | 605124 МК | |||||||||||||||||||||||||||||
| В | Цех | УЧ. | РМ | Опер. | Код, наименование операции | ||||||||||||||||||||||||||
| Г | Обозначение документа | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Д | Код, наименование оборудования | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Е | см | проф | Р | УТ | КР | КОИД | ЕН | ОП | К шт | Тпз | Т шт | ||||||||||||||||||||
| Л/М | Наименование детали, сб. единицы или материала | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Н/М | Обозначение, код | ОПП | ЕВ | ЕН | КИ | Н. расх. | |||||||||||||||||||||||||
| М 1 | Травитесь | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Н 2 | Склад Л 1 0.6 | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Д 3 | Установка травления | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 4 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| В 5 | 050 Снятие пленки фоторезиста | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 6 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| Г 7 | 605124 ОКУ | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 8 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| Т 9 | БАВнп-01 1, 2(01) БОКС укрытие "Ламинар-С" | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Т 10 |
ТУ
64 – 1 – 37 – 78 Пинцет ПС 160 |
||||||||||||||||||||||||||||||
| Т 11 | ВТМ 4. 189. 017 Тара для хранения пластин | ||||||||||||||||||||||||||||||
| М 12 | ТУ 2378-008-29135749 Сниматель СПР-01Ф | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Н 13 | Склад Л 1 0.8 | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Д 14 | EVG 101 Установка нанесения, проявления и снятия фоторезиста OSTEC | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 15 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| В 16 | 055 Контроль рельефа рисунка подложки | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 17 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| Г 18 | 605124 ОК | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 19 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| Т 20 | БАВнп-01 1, 2(01) БОКС укрытие "Ламинар-С" | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Т 21 |
ТУ
64 – 1 – 37 – 78 Пинцет ПС 160 |
||||||||||||||||||||||||||||||
| Т 22 | ВТМ 4. 189. 017 Тара для хранения пластин | ||||||||||||||||||||||||||||||
| Д 23 | ТУ 3-3.1210-75М Микроскоп инспекционный Nikon Eclipse L200A | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 24 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| 25 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| 26 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| 27 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| 28 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| 30 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| Разраб. | |||||||||||||||||||||||||||||||
| Н. контр. | |||||||||||||||||||||||||||||||
| МК | Маршрутная карта | ||||||||||||||||||||||||||||||
30
30
30
30
30
30
30
30Страницы: 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8
