Дипломная работа: Комплект технологической документации по оптической контактной литографии
| 4 | 1 | ||||||||||||||||||
| Разраб. | МГОУ | 605124 | 605124 ОК | ||||||||||||||||
| Пров.. | |||||||||||||||||||
| Утв. | Кристал | ||||||||||||||||||
| Н. контр. | |||||||||||||||||||
| Наименование операции | Наименование, марка материала | МД | |||||||||||||||||
| Контроль рельефа рисунка фоторезиста | |||||||||||||||||||
| Наименование оборудования | То | Тв | Обозначение иот | ||||||||||||||||
| Микроскоп инспекционный Nikon Eclipse L200A | |||||||||||||||||||
| Р | Контролируемые параметры | Код средств ТО | Наименование средств ТО | Объем и ПК | То / Тв | ||||||||||||||
| 01 | Внешний вид изделия | Микроскоп Nikon Eclipse L200A | 1. В процессе работы должна быть | ||||||||||||||||
| 02 | (чистота пленки фоторезиста, | ТУ 3-3.1210– 75 | отбракованна пластина в случае: | ||||||||||||||||
| 03 | наличие проколов, геометрические |
Пинцет ПС 160 |
- неполное удаление фоторезиста | ||||||||||||||||
| 04 | размеры элементов рельефа) | ТУ 64 – 1 – 37 78 | - наличие прополов и царапин на | ||||||||||||||||
| 05 | рабочей поверхности фоторезиста | ||||||||||||||||||
| 06 | - изменение геометрических размеров | ||||||||||||||||||
| 07 | рельефа (сужения, уширения, разрывы) | ||||||||||||||||||
| 08 | 2. При обнаружении брака разрешается: | ||||||||||||||||||
| 09 | - снять пластину с производства | ||||||||||||||||||
| 10 | направить на повторную обработку | ||||||||||||||||||
| 11 | направить в изолятор брака | ||||||||||||||||||
| 12 | |||||||||||||||||||
| 13 | |||||||||||||||||||
| 14 | |||||||||||||||||||
| ОК |
Карта операционного контроля |
||||||||||||||||||
30Страницы: 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8
