Дипломная работа: Комплект технологической документации по оптической контактной литографии
2. После проявления и полимеризации фоторезиста п. 8 описания технологического процесса, контроль рельефа в пленке фоторезиста проводим визуально под микроскопом. Проверяя всю рабочую поверхность подложки с имеющимися на ней элементами рисунка из пленки фоторезиста. Контролируются следующие основные критерии качества пленки: чистота рабочего поля пленки фоторезиста, наличие проколов и их количество, геометрические размеры элементов рельефа, неполное удаление фоторезиста в окнах, искажение формы элементов рисунка, наличие ореола и клина в рельефе рисунка. При обнаружении того или иного дефекта в пленке фоторезиста проводят анализ возможных причин его появления. После этого составляют план мероприятий по доработке отдельных технологических операций.
3. После удаления фотомаски п. 11 описания технологического процесса, контроль рельефа в подложки проводим визуально под микроскопом. Контролируя рабочую поверхность на соответствие ее топологии и геометрии элементов плану. Контролируются следующие основные критерии качества: наличие каверн, разрывов и их количество, геометрические размеры элементов рельефа; неполное удаление фотомаски, искажение формы элементов рисунка, наличие сужений, утолщений и изменений глубины рисунка. При обнаружении того или иного дефекта в пленке фоторезиста проводят анализ возможных причин его появления. После этого составляют план мероприятий по доработке отдельных технологических операций.
| 1 | I | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| МГОУ | 605124 | 605124 ВТД | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Пластина | 0 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| С | НПП | Обозначение ДСЕ | Наименование ДСЕ | кп | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Ф | НПП | Обозначение комплекта ТД | Наименование комплекта ТД | листов | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Г | Обозначение ТД | Услов. обозн. | Лист | Листов | Примечание | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Ф 1 | 605124 Пластина 9 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Ф 2 | 605124 ТЛ Титульный лист 1 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Ф 3 | 605124 ВО Ведомость оборудования 1 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 4 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 5 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 6 | Сборочные единицы | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 7 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| С 8 | 605124 Пластина | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Г 9 | 605124 МК 4 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Г 10 | 605124 ОК 1 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Г 11 | 605124 ОКУ 3 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 12 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 13 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 14 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 15 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 16 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 17 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 18 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 19 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 20 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 21 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 22 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 23 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 24 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 25 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 26 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 27 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 28 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 29 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 30 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Разраб. | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Н. контр. | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| ВТД /ВДП |
Ведомость технологической документации |
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 2 | 1 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| МГОУ | 605124 | 605124 ВО | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 0 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| С | НПП | Обозначение ДСЕ | Наименование ДСЕ | кл | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| В | Цех | уч. | РМ | Опер. | Код, наименование операции | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Т | опер. | Обозначение ТО | Кол | Наименование ТО | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Д | НПП | Код, наименование оборудования | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| С 1 | 605124 Пластина | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 2 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Т 3 | ADT 976 Установка отмывки OSTEC | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Д 4 | EVG 101 Установка нанесения, проявления и снятия фоторезиста OSTEC | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Д 5 | HP 150 Установка сушильная Sawatec | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Д 6 | EVG 620 Установка совмещения и экспонирования OSTEC | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Т 7 | БАВнп-01 1, 2(01) БОКС укрытие "Ламинар-С" | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Т 8 |
ТУ
64-1-37-78 Пинцет ПС 160 |
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Т 9 | ТУ 3-3.1210-75М Микроскоп инспекционный Nikon Eclipse L200A | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Т 10 | ВТМ 4.189. 017 Тара для хранения пластин | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 11 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 12 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 13 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 14 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 15 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 16 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 17 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 18 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 19 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 20 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 21 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 22 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 23 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 24 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 25 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 26 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 27 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 28 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 29 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 30 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Разраб. | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Н. контр. | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| ВО/ВОБ |
Ведомость оборудования |
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 3 | 1 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| МГОУ | 605124 | 605124 МК | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| В | Цех | УЧ. | РМ | Опер. | Код, наименование операции | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Г | Обозначение документа | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Д | Код, наименование оборудования | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Е | см | проф | Р | УТ | КР | КОИД | ЕН | ОП | К шт | Тпз | Т шт | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Л/М | Наименование детали, сб. единицы или материала | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Н/М | Обозначение, код | ОПП | ЕВ | ЕН | КИ | Н. расх. | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| В 1 | 005 Очистка подложки | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 2 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Г 3 | 605124 ОКУ | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 4 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Т 5 | БАВнп-01 1, 2(01) БОКС укрытие "Ламинар-С" | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Т 6 |
ТУ
64 – 1 – 37 – 78 Пинцет ПС 160 |
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Т 7 | ВТМ 4. 189. 017 Тара для хранения пластин | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| М 8 | ОСТ 11.029.003 - 80 Вода деионизированная марки А | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Н 9 | Склад Л 8 12 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| М 10 | ГОСТ 9293-74 Азот газообразный | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Н 11 | Склад Л 8 6 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Д 12 | ADT 976 Установку отмывки OSTEC | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 13 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| В 14 | 010 Контроль качества отмывки | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 15 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Г 16 | 605124 ОК | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 17 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Т 18 | БАВнп-01 1, 2(01) БОКС укрытие "Ламинар-С" | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Т 19 |
ТУ
64 – 1 – 37 – 78 Пинцет ПС 160 |
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Т 20 | ВТМ 4. 189. 017 Тара для хранения пластин | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Д 21 | ТУ 3-3.1210-75М Микроскоп инспекционный Nikon Eclipse L200A | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 22 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| В 23 | 015 Нанесение фоторезиста | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 24 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Г 25 | 605124 ОКУ | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 26 | Уважаемый преподаватель курсовая скачена из интернета и студентом даже не прочитана | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Т 27 | БАВнп-01 1, 2(01) БОКС укрытие "Ламинар-С" | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Т 28 |
ТУ
64 – 1 – 37 – 78 Пинцет ПС 160 |
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Т 30 | ВТМ 4. 189. 017 Тара для хранения пластин | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
3.О
30
30
30Страницы: 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8
